Vakum Magnetron Püskürtme Kaplama Makinesi
Vakum Magnetron Püskürtme Kaplama Makinesi
Şartname
TOB-1100X-SPC-16M magnetron püskürtme kaplayıcı, vakum ortamında hedef malzemenin parçacık bombardımanı ile üretilen püskürtme etkisini kullanır, bu da hedef malzeme atomlarının veya moleküllerinin katı yüzeyden dışarı fırlamasını sağlar ve ince bir film oluşturma işlemi alt tabaka üzerine biriktirilir. İnce film teknolojisinin fiziksel buhar biriktirme (PVD) hazırlanmasına aittir. TOB-1100X-SPC-16M magnetron püskürtme kaplayıcı, laboratuvarda taramalı elektron mikroskobu örneklerinin hazırlanması için kullanılabilir ve ekipmanın kompakt boyutu laboratuvarda yerden tasarruf sağlar; kullanım basittir ve yeni başlayanlar için uygundur.
Özellikler
- Çalışma durumunu gerçek zamanlı olarak izleyebilen vakum ölçer ve püskürtme akımı ölçer ile donatılmıştır.
- Püskürtme akımı kontrolörü ve mikro vakum gaz valfini ayarlayarak vakum odası basıncını, iyonizasyon akımını kontrol eder ve en iyi kaplama etkisini elde etmek için gerekli iyonizasyon gazını seçer.
- Çan gövdesinin kenarında bulunan kauçuk conta halkası, uzun süreli kullanımlarda cam çan gövdesinin kırılmamasını sağlamak için özel olarak tasarlanmıştır.
- Seramik contalı yüksek gerilim elektrot bağlantı parçaları, normalde kullanılan kauçuk contalardan daha dayanıklıdır.
- Gazın elektrik alanındaki iyonizasyon özelliklerine göre, büyük kapasiteli bir püskürtme vakum odası ve püskürtme hedefinin karşılık gelen bir alanı, püskürtülen tabakanın daha homojen ve saf olmasını sağlamak için kullanılır.
- Püskürtme başlığı, yüksek performanslı, ince parçacık kaplamaları elde etmek için Peltier soğutma teknolojisini kullanır.
- Su soğutmalı püskürtme başlıkları ve su soğutmalı taşıyıcı masalar mevcuttur.
Ürün adı |
Vakum Magnetron Püskürtme Kaplama Makinesi |
ürün modeli |
TOB-1100X-SPC-16M |
Kurulum Durumu |
Bu ekipmanın 1000 m veya daha düşük rakımda, 25 derece ± 15 derece sıcaklıkta ve %55Rh±10%Rh nem oranında kullanılması gerekmektedir. 1. su: ekipmanın isteğe bağlı kendi kendini dolaşan soğutma suyu makinesiyle (saf su veya deiyonize su doldurma) donatılması gerekir 2. Elektrik: AC220V 50Hz, iyi bir topraklama olmalı 3. gaz: ekipman haznesinin argonla doldurulması gerekir (saflık %99,99 veya daha fazla), kendi argon gaz silindirini (basınç düşürme valfi ile) sağlamanız gerekir 4. Çalışma masası: 600mm×600mm×700mm boyutlarında, yük taşıma kapasitesi 50kg ve üzeri. 5. Havalandırma cihazı: gerekli değil |
Ana Parametre |
1. Hedef: Ø50mm |
2. Vakum odası: Ø160mm×120mm |
|
3. vakum derecesi: 4×10-2mbar'dan küçük veya eşit |
|
4, maksimum akım: 50mA (isteğe bağlı 100mA) |
|
5. Sınır süresi ayarlanabilir: 9999s |
|
6. Mikro vakum valfi: Ø3mm hortumu bağlayın |
|
7. sınır voltajı: 1600V DC |
|
8. mekanik pompa: 2L/s |
|
9. Hedef malzeme: Boyut gereksinimi: φ50mm×(0.1-0.5)mm(kalınlık) Au, Ag, Cu ve diğer metallerin püskürtülmesi için uygundur (şirketimizde mevcuttur) |
|
10. Boyut: 360mm×300mm×380mm Toplam ağırlık: 50Kg, Net ağırlık: 15Kg |
Ürün Gösterimi
Sertifikamız
Daha Fazla SertifikaPatent Belgesi

ISO 9001 sertifikası

CE Belgesi

Bize Ulaşın

E-posta:tob.amy@tobmachine.com

Telefon:+86-18120715609
上方是模板内容,下方是编辑器原内容,编辑好请删除原内容.
Popüler Etiketler: vakum magnetron püskürtme kaplama makinesi, tedarikçiler, üreticiler, fabrika, fiyat
Bunları da sevebilirsiniz
Soruşturma göndermek