PECVD Fırını

1. Tip: 1200 derece Kaydırıcı tipi Çift Bölgeli PECVD Sistemi
2.Faz numarası: Tek fazlı
3.Termokupl Tipi: K tipi
4.Model:TOB-DSP-1200 derece -PECVD
5.MOQ:1 takım

Soruşturma göndermek

Şimdi konuş

ürün tanıtımı

1200 derece Kaydırıcı Tip Çift Bölgeli PECVD Sistemi

Şartname

Modeli	TOB-DSP-1200 derecesi -PECVD-I	TOB-DSP-1200 derecesi -PECVD-II		TOB-DSP-1200 derecesi -PECVD-III	TOB-DSP-1200 derecesi -PECVD-IV
Güç	3KW	3KW		4KW	4KW
Fırın tüpü boyutu (mm)	Çap 60(Dış Çap) X1800mm	Çap 80(Dış Çap) X1800mm		Çap 100(Dış Çap) X1800mm	Çap 120(Dış Çap) X1800mm
Boyut	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Güç kaynağı gerilimi	220V
Faz numarası	Tek aşama
Kontrol modu	Yudian sıcaklık kontrolü 30 bölüm yalnızca PID sıcaklık regülasyonunu kullanabilir. FP93 sıcaklık kontrolü (Japonya'dan) (İthal edilen aletleri ek ücret karşılığında değiştirin) 1,40 bölüm programı sıcaklık kontrolü 4,2,1 grup programına bölünebilir, eğer program dört gruba ayrılırsa, her program segmenti 10, 2,6 grup PID kontrolü, düşük, orta ve yüksek sıcaklıkların her biri bir dizi PID'ye sahip olabilir, böylece her segment sıcaklığı çok doğru bir şekilde kontrol edebilir.
Sıcaklık kontrol modu	Akıllı PID
Tükenmişlik koruması ve ekranı	Evet
Aşırı sıcaklık koruması	Evet
Aşırı akım koruması	Evet
Kontrol doğruluğu	+/- 1 derece
Tetiklemek	Faz kaydırma tetikleyicisi
SCR	106 / 16E Almanya Simon Kang
1,2 sıcaklık bölgesi maksimum sıcaklığı	1200 derece
1.2 sıcaklık bölgesi Nominal sıcaklık	1150 derece
Isıtma hızı	30 derece / Min'den az veya eşit (Talep üzerine değişiklik yapılabilir)
Önerilen ısıtma hızı	15 derece/dakikadan az veya ona eşit
Termokupl Tipi	K tipi
1,2 sıcaklık bölgesi ısıtma uzunluğu	205 mm
Çevreleyen yüzey sıcaklığı	45 dereceye eşit veya daha az
Plazma RF Gücü	Güç çıkış aralığı		0-500W
	Maksimum yansıtılan güç		10W
	Sinyal frekansı		13,56MHZ ± %0,005
	Gürültü		<30 dB
	Hava soğutma		Soğutma yöntemi
	Giriş gücü		208-240V 50 / 60HZ
GX besleme sistemi ana parametreleri	Standart aralık		Proton akış kontrolörü 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (herhangi bir ölçeği seçebilirsiniz)
	Kesinlik		± 1.5%
	Basınç düşmesi		<0.01MPa
	Tekrarlanabilirlik		± 0.2% F.S
	Maksimum İşletme basıncı		3 MP
VS-0.1 egzoz sistemi	güç kaynağı		220V / 380V 380W
	Pompalama hızı		2L / S
	Direnç vakum göstergesi		ZDR-ı
	Vakum ölçüm aralığı		0.1-10 5 Pa
	Vakum pompası		VRD-8
	Oluklu boru		KF25X1000mm
	Vakum sistemi		10 -1Pa